相比其在芯片制造领域的赫赫声名，光刻机巨头荷兰公司阿斯麦（ASML）在进博会现场一直是低调的存在。第五届中国国际进口博览会（以下简称“进博会”）期间，ASML（阿斯麦）首次通过“元宇宙”平台，提供沉浸式的光刻体验。

要理解“卡脖子”技术，就绕不开荷兰公司阿斯麦（ASML）。全球三大芯片制造商台积电、三星和英特尔在7纳米、5纳米乃至3纳米领域的突破主要仰赖阿斯麦的光刻机。今年是ASML第四次参展进博会，期间ASML展示了其“铁三角”业务——包括配备先进工艺控制能力的光刻机台，计算光刻、光学和电子束量测的全方位光刻解决方案。

目前，阿斯麦是全球高端光刻机的主要供应商，一台售价超过一亿美元。2021年ASML共出货高端光刻机（EUV、ArFi、ArF）145台，占据95.4%的全球市场份额，EUV市场占有率达到100%。

自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年。目前，ASML在华DUV（深紫外光刻机）安装、升级、迁移服务已实现完全本土化。同时该公司正在组建虚拟技术专家团队，以创新方式（ARES、HoloLens等）远程解决各种复杂问题。

ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示，ASM希望继续凭借着领先的全方位光刻解决方案，“携手合作伙伴，共同提升芯片技术。亲历和支持中国半导体产业的发展。”

受制于设备体量，阿斯麦在此次进博会期间通过ASML元宇宙空间帮助参观者“亲身”进入无尘室 ，近距离“接触”神秘的光刻机；结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。通过全方位光刻解决方案动画和科普视频，讲解复杂的光刻技术。

目前，ASML在中国的业务布局包括15个办公室，11个仓储物流中心，3个开发中心，1个培训中心和1个维修中心。其中的深圳研发中心成立于2004年，主要解决半导体制造过程中的纳米级掩模修复、芯片设计/制造缺陷检测与矫正等难题。随着OPC业务需求增长，ASML也开始扩充武汉研发中心。

展望未来，中国将在推动高度合作的全球半导体产业发展上持续发挥重要作用。ASML也将继续以开放与专注的精神投入中国市场，携手客户、合作伙伴及多元人才，共同推动半导体技术突破边界，解锁人类与社会无限潜能。

“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”沈波表示，“我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”