21世纪经济报道记者 林典驰
10月14日,2026湾区半导体产业生态博览会在深圳会展中心(福田)启幕。新凯来现场展出了刻蚀、扩散、薄膜、光学检测、光学量测、电子光学量检测、物理与X射线量测等设备。另外,新凯来官方资料出现了光学检测方向的PMI(六盘山)图形掩模缺陷检测。而在电子光学量检测方面,新凯来带来mEBI(井冈山)多电子束晶圆缺陷检测新产品。
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