经济观察网 光刻机板块拉升，炬光科技20cm涨停，中船特气涨超10%，先锋精科、富创精密、美埃科技、凯美特气、华特气体跟涨。相关ETF方面，科创半导体ETF华夏（588170）涨3.36%，成交额1.83亿元，半导体设备ETF广发（560780）涨2.95%，成交额5569.44万元。