经济观察网 半导体CVD设备领域国产替代进程加快，微导纳米、中微公司相关设备营收同比均实现翻倍以上增长。

半导体薄膜沉积设备国产替代加速：
在更广义的半导体CVD设备领域，国产厂商进展迅速。例如，微导纳米的ALD/CVD设备收入同比大增169.12%，中微公司薄膜设备营收增长224.23%且性能达国际领先水平。SK海力士大幅提升晶圆产能的计划也进一步拉动了设备需求预期。

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