经济观察网 光刻机板块短线拉升，中瓷电子涨停, 同飞股份、炬光科技涨超10%，波长光电、广立微、中船特气、洪田股份、大族激光等跟涨。相关ETF方面，科创半导体ETF（588170）涨0.96%，成交额4.34亿元，半导体设备ETF易方达（159558）涨0.91%，成交额7174.27万元。