经济观察网 5月13日，中微公司在上交所公告，公司收购杭州众硅电子科技有限公司（下称“杭州众硅”）64.69%股权并募集配套资金项目，获得中国证监会注册批复。至此，该项目已走完全部审核及注册流程，科创板首单适用并购重组简易审核程序的案例即将进入实施阶段。本次交易标的企业杭州众硅，是国内少数掌握12英寸高端化学机械抛光（CMP）设备核心技术并实现量产的企业。CMP设备属于半导体前道湿法工艺核心环节，与中微公司现有的刻蚀、薄膜沉积等干法设备形成明确互补。