10月12日晚间，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”）披露《2026年度向特定对象发行A股股票预案》，公司拟向不超过35名特定对象发行A股股票，募集资金总额不超过49.44亿元，扣除发行费用后拟用于无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目、华中先进半导体设备产业化项目、尖端薄膜沉积技术研发中心项目及补充流动资金。

预案显示，上述募投项目围绕微导纳米以原子层沉积（ALD）技术为核心、化学气相沉积（CVD）等多种薄膜沉积技术梯次发展的主营业务展开，分别承担成熟产品升级迭代、重点市场区域化产业布局、下一代先进工艺设备研发和营运资金保障等功能。

其中，无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目拟使用募集资金约7.29亿元。项目建成后，将围绕现有产品持续开展设备架构、核心模块及工艺能力升级，提升相关产品的技术性能、生产效率、量产稳定性及规模化交付能力。同时，承接公司iTronixPES系列设备的前期研发成果，进一步推进其产业验证和产业化应用进程。

华中先进半导体设备产业化项目拟使用募集资金约2.89亿元，重点面向先进存储制造领域，围绕HDC（高密度碳）工艺的iTronixMTP相关系列产品开展研发优化及产业化建设。补充流动资金项目拟使用募集资金7亿元，用于满足原材料采购、人员薪酬、市场开拓、客户服务及其他日常经营活动产生的营运资金需求。

值得一提的是，公司拟使用约32.25亿元募集资金用于尖端薄膜沉积技术研发中心项目。该项目拟重点围绕三大方向开展研发。一是面向下一代先进制程、先进封装及新材料应用等中长期技术需求，开展前沿薄膜沉积设备、新型薄膜材料及配套工艺技术研发，持续储备面向未来工艺节点的关键设备和技术能力；二是在现有ALD、CVD技术体系基础上，进一步拓展PVD（物理气相沉积）、ALE（原子层刻蚀）等技术路线，持续丰富公司薄膜沉积及相关半导体设备产品体系；三是围绕设备性能优化、研发效率提升和生产运营智能化等需求，推动人工智能技术与设备控制、工艺优化、异常识别、故障诊断及智能运维等环节融合，提升设备数字化、智能化水平。

“ALD适合原子级精度场景，PVD和CVD在高沉积速率和大面积均匀性上各有优势。但ALE严格属于刻蚀工艺而非沉积工艺，公司将其纳入研发方向，实质是从沉积向刻蚀环节延伸。”苏商银行特约研究员付一夫在接受《证券日报》记者采访时表示，研发项目中新增的技术路线属于横向拓展，是在薄膜沉积及相关真空技术领域内构建多技术路线矩阵，而非泛泛的平台化扩张，符合下游客户一站式采购的长期趋势。

微导纳米专注于先进薄膜沉积设备的研发、生产与销售，向下游半导体、泛半导体客户提供尖端薄膜设备、配套产品及服务。上半年，微导纳米实现营业收入11.89亿元，其中，半导体设备收入6.29亿元，同比增长224.77%，占主营业务收入比重提升至53.11%，已超越光伏业务成为公司主要营业收入来源。截至2026年6月末，公司半导体设备在手订单达到26.98亿元。

盘古智库（北京）信息咨询有限公司高级研究员江瀚向《证券日报》记者表示：“微导纳米定增押注半导体设备，是业务结构切换后的必然选择。公司半导体设备收入占比已超53%，26.98亿元在手订单倒逼产能跟进。当前，国产设备在晶圆厂已装机设备中占比持续提升，但在ALD、高端PVD等薄膜沉积细分领域国产化率仍然偏低，替代空间明确。不过，募投项目的实际成效仍有待后续订单交付数据验证，尤其是客户验证进展、供应链稳定性及海外厂商竞争压力等关键环节。”

（编辑 孙倩）