【光刻机概念局部异动 凯美特气直线涨停】财联社10月13日电，光刻机概念盘中局部异动，凯美特气直线涨停，蓝英装备、七彩化学、华特气体、新莱应材、阳谷华泰等跟涨。消息面上，据韩国媒体报道，ASML将把供应韩国的更换零部件价格统一上调10%，涵盖极紫外（EUV）和深紫外（DUV）光刻设备的全部零部件，自明年1月起生效。