上证报中国证券网讯（记者 窦世平）记者从北京屹唐半导体科技股份有限公司获悉，其北京工厂第1000台集成电路制造设备近日在北京经济技术开发区正式出厂发车，这是屹唐股份北京工厂在设备交付规模上实现的一次关键跨越。规模化交付成果的背后，离不开长期稳定的研发投入。今年上半年，屹唐股份研发投入总额3.75亿元，同比增长2.35%，占营业收入比例为17.61%，比去年同期增加2.83个百分点。研发人员占员工总数31.36%，硕士及以上学历人员占比超50%，累计申请专利达781项。依托自身技术积淀，叠加全球芯片产业产能调整、产品升级带来的市场机遇，屹唐股份正加快面向全球多元客户的业务布局，设备市场需求稳步抬升。目前，干法去胶、快速热处理设备在全球市场保持稳定份额；新一代先进干法刻蚀设备成功进入海外市场，等离子体表面处理设备已获得多家全球重点客户量产验证与重复订单。同时，屹唐股份持续推进新型金属刻蚀、晶边刻蚀、高选择比刻蚀、多腔体工艺集成平台等新产品研发。屹唐股份相关负责人表示，公司通过持续研发投入，一方面不断提升核心产品的竞争力，保持产品先进性，另一方面在集成电路制造设备核心工艺技术领域持续深厚积累，稳步推进多款新型集成电路设备的研发及市场拓展。