上证报中国证券网讯 10月12日晚间，微导纳米（688147）公告称，公司拟向特定对象发行A股股票，募集资金总额不超过49.44亿元，扣除发行费用后拟用于无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目、华中先进半导体设备产业化项目、尖端薄膜沉积技术研发中心项目及补充流动资金。谈及本次定增目的，微导纳米表示：“本次发行将进一步完善公司先进薄膜沉积设备研发验证、生产制造、测试及数字化运营条件，加快现有产品升级和新产品产业化导入，提升多品类产品并行生产、规模化交付及订单承接能力。”其中，投入资金最多的是尖端薄膜沉积技术研发中心项目，达32.25亿元。该项目目标建设面向先进半导体制造的尖端薄膜沉积技术研发中心，进一步完善公司前沿工艺研发、设备开发及验证能力。微导纳米介绍，项目建成后将聚焦三大研发方向：一是针对先进制程、先进封装与新材料的中长期需求，研发前沿薄膜沉积设备、薄膜材料及配套工艺；二是立足现有ALD、CVD技术，拓展PVD、ALE等路线；三是融合AI技术，赋能设备控制、工艺调优、故障诊断与智能运维，提升设备数字化、智能化能力。近年来，半导体产业整体呈现快速增长趋势，薄膜沉积设备作为半导体制造的核心装备，其市场规模同步保持扩容。根据Global Market Insights 2026年专项报告数据，2025年全球薄膜沉积设备市场规模为348亿美元，预计到2035年将增至775亿美元。资料显示，薄膜沉积设备具有技术路线多元、材料体系复杂、产品与具体工艺环节高度耦合的特点。“持续拓展设备品类、材料体系和工艺覆盖范围，是薄膜沉积设备企业扩大市场空间、提升客户综合服务能力的重要发展方向。”微导纳米表示，项目实施有助于公司提高在单条晶圆制造产线中的薄膜沉积工艺覆盖率，拓宽市场范围和单一客户设备需求覆盖能力。目前，微导纳米以ALD、CVD技术为核心，形成了iTomic HiK等十余个薄膜沉积产品系列，在薄膜沉积设备领域已建立了一定的市场地位和客户基础。技术方面，本次发行将支持微导纳米持续推进现有ALD、CVD设备升级迭代，并围绕先进逻辑、先进存储、先进封装、新型材料及先进互连等方向开展前瞻研发，进一步拓展PVD、ALE等技术路线，同时完善自主工艺测试和研发验证平台。业绩方面，微导纳米上半年实现营业收入11.89亿元，同比增长13.27%；归母净利润1.02亿元，同比下降46.74%。该公司表示，净利下滑原因主要系光伏行业阶段性调整，公司光伏设备收入较去年同期下降52.48%，但公司半导体设备业务已进入快速发展的重要阶段。截至2026年6月，公司半导体设备在手订单达到26.98亿元。来源：上海证券报微信公众号